SEM, Profilometria

 

Obecnie w badaniach topografii powierzchni materia┼éów wykorzystuje si─Ö wiele technik badawczych. Jednymi z nich jest mikroskopia konfokalna oraz elektronowa.

Mikroskopia elektronowa umo┼╝liwia obrazowanie topografii powierzchni ( detekcja SE ) oraz analiz─Ö powierzchni materia┼éu pod wzgl─Ödem kontrastu chemicznego ( detekcja BSE). Po┼é─ůczenie mikroskopii elektronowej z mikroanaliz─ů EDS pozwala na identyfikacj─Ö ( powierzchniow─ů i obj─Öto┼Ťciow─ů) pierwiastków chemiczny wchodz─ůcy w sk┼éad badanego materia┼éu.

Zastosowanie mikroskopii konfokalnej w przeciwie┼ästwie do mikroskopii elektronowej umo┼╝liwia wykonanie bada┼ä i testów pod k─ůtem szorstko┼Ťci, formy, grubo┼Ťci warstwy i geometrii w zakresie mikro- i nanotechnolgii ( w postaci wizualizacji wyników pomiarów w postaci 2D oraz 3D).